SEMI S2 SEMIガイドライン適合評価サービス
SEMI S2とは、半導体製造装置における環境、健康、安全に関するガイドラインです。
SEMI S8とは、半導体製造装置における人間工学エンジニアリングに関するガイドラインです。
SEMI S14とは、半導体製造装置における防火に関するガイドラインです。
フェーズ0：設計前コンサルティング（オプション）
ＳＥＭＩに適合するには、大幅な改造が必要となることがあります。
フェーズ０では装置の設計段階からコンサルティングをする事により、設計の最終段階においての大幅な改造を避け、時間やコストの節約を実現します。
具体的には、装置がＳＥＭＩガイドラインに適合するために必要な設計上の要求事項の説明や図面での修正事項の指摘をいたします。
フェーズ 1：予備安全審査
既存装置もしくは類似装置に対して、不適合項目の指摘、図面、マニュアル、提出書類等の照査をするサービスを提供いたします。
不適合箇所と是正・改造提案を記述したステータスレポートを提出いたします。
フェーズ 2：中間安全審査
フェーズ１で指摘した項目が正しく修正されているか確認をいたします。
フェーズ 3：最終安全審査
不適合となった項目に対し、すべての対策が終了されているかを確認し、必要な試験(インターロック動作試験、電気安全試験、トレーサーガステスト、騒音測定など)を実施します。SEMIの安全要求ガイドラインに適合している事が確認されたら最終の安全評価報告書を作成・提出いたします。
フォローアップ
フェーズ３後も、エンドユーザーからの安全に関する質問や説明を要求された場合、お客様の要請に応じてフォローアップもいたします。また、後継機に関するご質問等も受け付けております。
