SEMI S2とは, 半導体製造装置における環境，健康，安全に関するガイドラインです。
SEMI S8 とは, 半導体製造装置における人間工学エンジニアリングに関するガイドラインです。
SEMI S14 とは, 半導体製造装置における火災に関するガイドラインです。

SEMIガイドラインに適合するよう装置エンドユーザから要求された場合、装置の適合性を判断するために、安全評価報告書が必要となります。NSSは下記サービスを提供し、装置設計から報告書提出後のフォローアップまでサポートいたします。

フェーズ0：設計前安全審査 既存の装置をSEMIに適合させるには、大幅な改造、時間、コストと言った余分な工程がかかります。NSSではこれら問題点を軽減させるために設計段階から審査・コンサルティングをするサービスを提供いたします。 設計前安全審査では、お客様の装置がSEMIガイドラインに適合するための設計概念の教示や各種図面上での修正事項等の提案をいたします。 フェーズ 1: 予備安全審査 既存装置に対して、不適合項目の指摘、図面、マニュアル、提出書類等の照査をするサービスを提供いたします。

フェーズ 2: 中間安全審査

上記予備安全調査で指摘した項目が考慮されているか確認のため、通信（電話、FAX、電子メール等） による改訂後の図面照査や、貴社へ訪問し製作途中の実機装置確認のサービスを提供いたします。

フェーズ 3: 最終安全審査

不適合となった項目に対し、すべて対策が取られているか確認をし、安全評価報告書を提出いたします。 またお客様のご要望に応じて、電気試験や騒音測定等のサービスも提供しています。

フォローアップ

安全評価報告書の提出後も、装置エンドユーザからの問い合わせに対するフォローアップや、次機種に関するご質問等も随時受け付けております。